1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 6(131)'2015
  5. ОЦЕНКА НЕОПРЕДЕЛЕННОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ДИАМЕТРА ЧАСТИЦ SIO2 МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ СТРУКТУРИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ

ОЦЕНКА НЕОПРЕДЕЛЕННОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ДИАМЕТРА ЧАСТИЦ SIO2 МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ СТРУКТУРИРОВАННЫХ МАТЕРИАЛОВ

И.Г. Каюн, О.П. Мысов, С.Г. Калашников
Аннотации на языках:

Проанализированы публикации по неопределенности измерений линейных размеров растровым электронным микроскопом. Проведена оценка неопределенности измерений диаметра частиц SiO2 методом электронной микроскопии Проанализированы источники неопределенности характерные для данного метода исследования. Установлено, что определяющим влияющим фактором на неопределенность измерения является инструментальная составляющая. Показаны особенности обработки микрофотографий для определения характеристик структурированного материала: размеров частиц, закон их распределения по диаметрам, дефектность структуры.
Ключевые слова: неопределенность измерения, фотонные кристаллы, растровый электронный микроскоп, закон распределения частиц, структурированные материалы