1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 4(26)'2003
  5. Механические свойства поверхностных слоев кремния при бомбардировке ускоренными ионами

Механические свойства поверхностных слоев кремния при бомбардировке ускоренными ионами

А. К. Гнап, Н. М. Пелихатый, Н. Й. Коваленко, Н. Я. Рохманов, Г. В. Прохоров
Системи обробки інформації. — 2003. — № 4(26). — С. 8-13.
Тематика статті: Загальні питання
УДК 546.28
Мова статті: російська
Анотації на мовах:

Приведены результаты изучения влияния бомбардировки кремния ионами бора и кремния на его микротвердость и трещинообразование. Измерения велись продавливанием слоев алмазным индентором при изменяющейся нагрузке. Показана роль электрически активных центров и точечных дефектов, образующихся при ионной бомбардировке
Бібліографічний опис для цитування:
Гнап А. К. Механические свойства поверхностных слоев кремния при бомбардировке ускоренными ионами / А. К. Гнап, Н. М. Пелихатый, Н. Й. Коваленко, Н. Я. Рохманов, Г. В. Прохоров  // Системи обробки інформації. — 2003. — № 4. — С. 8-13.