Харківський національний університет Повітряних Сил імені Івана Кожедуба

Анотація: Приведены результаты изучения влияния бомбардировки кремния ионами бора и кремния на его микротвердость и трещинообразование. Измерения велись продавливанием слоев алмазным индентором при изменяющейся нагрузке. Показана роль электрически активных центров и точечных дефектов, образующихся при ионной бомбардировке

Повний текст PDF - 381.78 KB

Цитування публікації

Інформація про авторів публікації:

• Гнап А. К.
• Пелихатый Н. М.
• Коваленко Н. Й.
• Рохманов Н. Я.
• Прохоров Г. В.

Бібліографічний опис для цитування:
Гнап А.К., Пелихатый Н.М., Коваленко Н.Й., Рохманов Н.Я., Прохоров Г.В. Механические свойства поверхностных слоев кремния при бомбардировке ускоренными ионами. Системи обробки інформації. 2003. № 4(26). С. 8-13.