Харківський національний університет Повітряних Сил імені Івана Кожедуба

Приведены результаты изучения влияния бомбардировки кремния ионами бора и кремния на его микротвердость и трещинообразование. Измерения велись продавливанием слоев алмазным индентором при изменяющейся нагрузке. Показана роль электрически активных центров и точечных дефектов, образующихся при ионной бомбардировке

Повний текст PDF - 381.78 KB

Цитування публікації

Інформація про авторів публікації:

• Гнап А. К.
• Пелихатый Н. М.
• Коваленко Н. Й.
• Рохманов Н. Я.
• Прохоров Г. В.

Бібліографічний опис для цитування:
Механические свойства поверхностных слоев кремния при бомбардировке ускоренными ионами / А.К. Гнап, Н.М. Пелихатый, Н.Й. Коваленко, Н.Я. Рохманов, Г.В. Прохоров  // Системи обробки інформації. – 2003. – № 4(26). – С. 8-13.