Анотація: Приведены результаты изучения влияния бомбардировки кремния ионами бора и кремния на его микротвердость и трещинообразование. Измерения велись продавливанием слоев алмазным индентором при изменяющейся нагрузке. Показана роль электрически активных центров и точечных дефектов, образующихся при ионной бомбардировке