1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 4(26)'2003
  5. Механічні властивості поверхневих прошарків кремнію при бомбардуванні прискореними іонами

Механічні властивості поверхневих прошарків кремнію при бомбардуванні прискореними іонами

А.К. Гнап, М.М. Пеліхатий, М.Й. Коваленко, М.Я. Рохманов, Г.В. Прохоров
Анотації на мовах:

Наведені результати вивчення впливу бомбардування кремнію іонами бора і кремнію на його мікропластичність, твердість та щілиноутворення. Вимірювання велось продавленням прошарків алмазним індентором