1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 5(33)'2004
  5. Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур

Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур

А.К. Гнап, Г.В. Прохоров, М.М. Пеліхатий, Б.А. Гнап
Системи обробки інформації. — 2004. — № 5(33). – С. 49-56.
Тематика статті: Загальні питання
УДК 621.3.049.77.14
Мова статті: українська

Проведено дослідження процесів формування для наноелектроніки силіцидів в шаруватих структурах тугоплавких структур метал-кремній (Me, W, Mo, Ti, V) методом зворотного розсіювання іонів.
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Гнап А.К. Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур / А.К. Гнап, Г.В. Прохоров, М.М. Пеліхатий, Б.А. Гнап  // Системи обробки інформації. – 2004. – № 5(33). – С. 49-56.