Харківський національний університет Повітряних Сил імені Івана Кожедуба

Анотація: Проведено дослідження процесів формування для наноелектроніки силіцидів в шаруватих структурах тугоплавких структур метал-кремній (Me, W, Mo, Ti, V) методом зворотного розсіювання іонів.

Повний текст PDF - 697.01 KB

Цитування публікації

Інформація про авторів публікації:

• Гнап А. К.
• Прохоров Г. В.
• Пеліхатий М. М.
• Гнап Б. А.

Бібліографічний опис для цитування:
Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур / А.К. Гнап, Г.В. Прохоров, М.М. Пеліхатий, Б.А. Гнап  // Системи обробки інформації. – 2004. – № 5(33). – С. 49-56.