Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур
Системи обробки інформації.
— 2004. — № 5(33). С. 49-56.
Тематика статті: Загальні питання
УДК 621.3.049.77.14
Мова статті:
українська
Анотація: Проведено дослідження процесів формування для наноелектроніки силіцидів в шаруватих структурах тугоплавких структур метал-кремній (Me, W, Mo, Ti, V) методом зворотного розсіювання іонів.
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Гнап А.К., Прохоров Г.В., Пеліхатий М.М., Гнап Б.А. Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур. Системи обробки інформації. 2004. № 5(33). С. 49-56.
Гнап А.К., Прохоров Г.В., Пеліхатий М.М., Гнап Б.А. Формування силіцидів металу при іонному бомбардуванні шаруватих структур. Системи обробки інформації. 2004. № 5(33). С. 49-56.