1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 6(34)'2004
  5. Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности

Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности

П. Ф. Буданов, Ю. Г. Даник, С. Е. Кальной, Р. Э. Пащенко
Системи обробки інформації. — 2004. — № 6(34). — С. 18-22.
Тематика статті: Загальні питання
УДК 543.271.621.832
Мова статті: російська

Исследована кинетика процессов адсорбции и десорбции молекул газа при регенерации полупроводникового фрактального сенсора. Получены аналитические зависимости количества молекул газа на поверхности сенсора от времени. Показано, что время регенерации существенно зависит от фрактальной размерности поверхности сенсора и фрактальной размерности кластера адсорбированных молекул. Рассмотрены различные режимы регенерации. Численные оценки показывают, что при температурах 1000  1200 К времена регенерации оказываются значительно меньшими времени срабатывания сенсора.
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Буданов П. Ф. Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности / П. Ф. Буданов, Ю. Г. Даник, С. Е. Кальной, Р. Э. Пащенко  // Системи обробки інформації. — 2004. — № 6. — С. 18-22.