Анотація: Исследована кинетика процессов адсорбции и десорбции молекул газа при регенерации полупроводникового фрактального сенсора. Получены аналитические зависимости количества молекул газа на поверхности сенсора от времени. Показано, что время регенерации существенно зависит от фрактальной размерности поверхности сенсора и фрактальной размерности кластера адсорбированных молекул. Рассмотрены различные режимы регенерации. Численные оценки показывают, что при температурах 1000 1200 К времена регенерации оказываются значительно меньшими времени срабатывания сенсора.