Анотація: Исследована кинетика процессов адсорбции и десорбции молекул газа при регенерации полупроводникового фрактального сенсора. Получены аналитические зависимости количества молекул газа на поверхности сенсора от времени. Показано, что время регенерации существенно зависит от фрактальной размерности поверхности сенсора и фрактальной размерности кластера адсорбированных молекул. Рассмотрены различные режимы регенерации. Численные оценки показывают, что при температурах 1000  1200 К времена регенерации оказываются значительно меньшими времени срабатывания сенсора.

Повний текст PDF - 364.13 KB

Цитування публікації

Інформація про авторів публікації:

• Буданов П. Ф.
• Даник Ю. Г.
• Кальной С. Е.
• Пащенко Р. Э.

Бібліографічний опис для цитування:
Буданов П.Ф., Даник Ю.Г., Кальной С.Е., Пащенко Р.Э. Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности. Системи обробки інформації. 2004. № 6(34). С. 18-22.