Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности
П.Ф. Буданов,
Ю.Г. Даник,
С.Е. Кальной,
Р.Э. Пащенко
Системи обробки інформації.
— 2004. — № 6(34). – С. 18-22.
Тематика статті: Загальні питання
УДК 543.271.621.832
Мова статті:
російська
Исследована кинетика процессов адсорбции и десорбции молекул газа при регенерации полупроводникового фрактального сенсора. Получены аналитические зависимости количества молекул газа на поверхности сенсора от времени. Показано, что время регенерации существенно зависит от фрактальной размерности поверхности сенсора и фрактальной размерности кластера адсорбированных молекул. Рассмотрены различные режимы регенерации. Численные оценки показывают, что при температурах 1000 1200 К времена регенерации оказываются значительно меньшими времени срабатывания сенсора.
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Буданов П.Ф. Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности / П.Ф. Буданов, Ю.Г. Даник, С.Е. Кальной, Р.Э. Пащенко // Системи обробки інформації. – 2004. – № 6(34). – С. 18-22.
Буданов П.Ф. Регенерация полупроводниковых газочувствительных сенсоров с фрактальной структурой поверхности / П.Ф. Буданов, Ю.Г. Даник, С.Е. Кальной, Р.Э. Пащенко // Системи обробки інформації. – 2004. – № 6(34). – С. 18-22.