1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 2(127)'2015
  5. Обработка результатов при интерференционно-оптических измерениях округлости

Обработка результатов при интерференционно-оптических измерениях округлости

О.М. Загурська
Аннотации на языках:

Проведено обработка результатов измерения округлости объектов. Проанализированы влияющие факторы при измерении и выделено систематические смещения, которые возникают при интерференционно-оптических измерениях. Приведены алгоритмы определения и коррекции систематических смещений в результате измерения. Представлены результаты оценены систематических смещений для объекта диаметром 40 мм и оценены стандартные неуверенности результатов. Оценена стандартная неопределенность округлости для рассматриваемого в работе примера лежит между 0,06 и 0,09 мкм. Определены значения допуска округлости для исследуемого объекта.
Ключевые слова: округлость, систематическое смещение, неопределенность интерференционно-оптическово измерения