1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 1(75)'2009
  5. Метод создания тонкоплёночного термокомпенсационного тензопреобразователя

Метод создания тонкоплёночного термокомпенсационного тензопреобразователя

А.А. Бондаренко, Е.А. Коновченко
Аннотации на языках:

В работе разработан метод создания тонкоплёночного термокомпенсационного тензопреобразовавтеля и описан эксперимент, который позволяет сделать вывод о достижении технического эффекта преобразования прицензиционных микроэлектронных преобразователей давления в электрический сигнал.
Ключевые слова: термокомпенсационный тензопреобразователь, технический эффект