1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 5(79)'2009
  5. Оценка предельной разрешающей способности в микроволновой сканирующей микроскопии

Оценка предельной разрешающей способности в микроволновой сканирующей микроскопии

С.И. Мельник, Н.И. Слипченко
Системи обробки інформації. — 2009. — № 5(79). – С. 89-91.
УДК 621.317.799
Мова статті: російська
Анотації на мовах:

Получена формула для оценки предельно достижимой пространственной разрешающей способности в методе микроволновой сканирующей микроскопии. Показано, что на нее мультипликативно влияют как фактор локализации сканирующего поля, ассоциируемый с кривизной максимума его распределения, так и отношение сигнал-шум. Таким образом, пространственная разрешающая способность может быть существенно улучшена не только за счет миниатюризации острия датчика, но и за счет понижения вклада шумовой составляющей и применения алгоритма реконструкции к измеренному профилю. Проверка точности оценки на реальных данных показала ее адекватность. В результате реконструкции удалось повысить разрешающую способность по сравнению с исходными данными сканирования на порядок.
Ключові слова: микроволновая сканирующая микроскопия, разрешающая способность, реконструкция изображения
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Мельник С.И. Оценка предельной разрешающей способности в микроволновой сканирующей микроскопии / С.И. Мельник, Н.И. Слипченко  // Системи обробки інформації. – 2009. – № 5(79). – С. 89-91.