1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 5(79)'2009
  5. Оцінка граничної роздільної здатності в мікрохвильовій скануючій мікроскопії

Оцінка граничної роздільної здатності в мікрохвильовій скануючій мікроскопії

С.І. Мельник, М.І. Слипченко
Анотації на мовах:

Одержано формулу для оцінки гранично досяжної просторової роздільної здатності в методі мікрохвильової скануючої мікроскопії. Показано, що на неї мультиплікатівно впливають як фактор локалізації скануючого поля, що асоціюють із кривиною максимуму його розподілення, так і відношення сигнал-шум. Таким чином, просторова роздільна здатність може бути суттєво покращена не тільки завдяки мініатюризації вістря зонда, а й завдяки зменшення вкладу шумової складової та застосуванню алгоритму реконструкції до виміряного профілю. Перевірка точності оцінки на реальних даних показала її адекватність. У результаті реконструкції вдалося поліпшити роздільну здатність у порівнянні із початковими даними на порядок.
Ключові слова: мікрохвильова скануюча мікроскопія, роздільна здатність, реконструкція зображення