1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 4(85)'2010
  5. Метод калибровки эталонов толщины покрытия

Метод калибровки эталонов толщины покрытия

Р. А. Лаанеотс , Ю. Р. Риим
Системи обробки інформації. — 2010. — № 4(85). — С. 95-100.
УДК 531.717:539.238
Мова статті: російська
Анотації на мовах:

Описывается разработанный новый метод калибровки эталонов толщины покрытия. Метод заключается в осязании верхней поверхности эталона и, по результатам осязания, в расчете уравнения предсказываемого профиля поверхности основания, покрытой покрытием по двум уравнениям профиля поверхности основания, полученным на основе результатов осязания непокрытoй поверхности основания. Толщина покрытия определяется как расстояние между профилем верхней поверхности покрытия и предсказываемым профилем основания покрытого покрытием.
Ключові слова: толщина покрытия, эталон толщины покрытия, калибровка, результат калибровки, неопределенность
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Лаанеотс Р. А. Метод калибровки эталонов толщины покрытия / Р. А. Лаанеотс , Ю. Р. Риим  // Системи обробки інформації. — 2010. — № 4. — С. 95-100.