1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 4(85)'2010
  5. Метод калібровки еталонів товщині покриття

Метод калібровки еталонів товщині покриття

Р.А. Лаанеотс, Ю.Р. Риим
Анотації на мовах:

Описується розроблений новий метод калібровки еталонів товщини покриття. Метод полягає в дотику верхньої поверхні еталона й за результатами дотику в розрахунках рівняння профілю, що передвіщається, поверхні основи, покритої покриттям по двох рівняннях профілю поверхні основи, отриманим на основі результатів дотику непокритої поверхні основи. Товщина покриття визначається як відстань між профілем верхньої поверхні покриття профілем, що передвіщається, основи покритого покриттям.
Ключові слова: товщина покриття, еталон товщини покриття, калібровка, результат калібровки, невизначеність