1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 6(96)'2011
  5. Методы и средства измерения цифровой голографии в микро и нано метрологии

Методы и средства измерения цифровой голографии в микро и нано метрологии

А.И. Бочарова
Аннотации на языках:

Необходимость в микро и нано метрологии очевидна, так как критические размеры постепенно уменьшаются и геометрическая сложность объектов увеличивается. Доступные технологии оказываются несущественными. Для то- го, чтобы решить задачи такого типа, необходимо объединить исследовательские и конструкторские усилия. Разра- ботчики должны учитывать новые измерительные принципы и оборудование, правила допуска и процедуры для до- стижения единства измерений и калибровки. Цифровая голография – это новая технология по созданию изображений, которая наследует много уникальных способностей традиционной голографии, однако дает новые решения к некото- рым ключевым проблемам, которые ограничиваются использованием и в дальнейшем развитием.
Ключевые слова: нанометрология, цифровая голография, микроскопия, интерферометрия, CCD-камера