1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 6(96)'2011
  5. Методи та засоби вимірювання цифрової голографії в мікро та нано метрології

Методи та засоби вимірювання цифрової голографії в мікро та нано метрології

О.І. Бочарова
Анотації на мовах:

Необхідність в мікро і нано метрології очевидна, оскільки критичні розміри поступово зменшуються і геометрична складність об'єктів збільшується. Доступні технології виявляються неістотними. Для того, щоб вирішити завдання такого типу, необхідно об'єднати дослідницькі і конструкторські зусилля. Розробники повинні враховувати нові вимірювальні принципи і устаткування, правила допуску і процедури для досягнення єдності вимірювань і калібрування. Цифрова голографія – це нова технологія по створенню зображень, яка успадковує багато унікальних здібностей традиційної голографії, проте дає нові рішення до деяких ключових проблем, які обмежуються використанням і надалі розвитком.
Ключові слова: нанометрологія, цифрова голографія, мікроскопія, інтерферометрія, CCD-камера