1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 6(96)'2011
  5. Перспективы развития нанометрологии в Украине с использованием растровых электронных микроскопов

Перспективы развития нанометрологии в Украине с использованием растровых электронных микроскопов

К. П. Неежмаков
Системи обробки інформації. — 2011. — № 6(96). — С. 181-184.
УДК 537.533
Мова статті: російська
Анотації на мовах:

Развитие микроэлектроники, микромеханики, нанотехнологий требует совершенствования методов измерения линейных размеров элементов топологии микросхем, анализа поверхностных структур, а также требует средств измерений, подтверждающих достоверность результатов измерений размеров реальных объектов и их элементного состава. Измерения линейных размеров в микронном и субмикронном диапазонах методом растровой электронной микроскопии на сегодняшний день считаются одними из наиболее точных. Следует отметить, что ведущие страны мира, занимающие ключевые позиции в микроэлектронике, вопросам внедрения метрологии в практику линейных измерений в микро- и нанометровом диапазонах уделяют первостепенное значение.
Ключові слова: нанометрология, растровый электронный микроскоп, меры, калибровка, эталон
Інформація про авторів публікації:
Бібліографічний опис для цитування:
Неежмаков К. П. Перспективы развития нанометрологии в Украине с использованием растровых электронных микроскопов / К. П. Неежмаков  // Системи обробки інформації. — 2011. — № 6. — С. 181-184.