1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 6(96)'2011
  5. ПЕРСПЕКТИВИ РОЗВИТКУ НАНОМЕТРОЛОГІЇ В УКРАЇНІ З ВИКОРИСТАННЯМ РАСТРОВИХ ЕЛЕКТРОННИХ МІКРОСКОПІВ

ПЕРСПЕКТИВИ РОЗВИТКУ НАНОМЕТРОЛОГІЇ В УКРАЇНІ З ВИКОРИСТАННЯМ РАСТРОВИХ ЕЛЕКТРОННИХ МІКРОСКОПІВ

К.П. Неєжмаков
Анотації на мовах:

Розвиток мікроелектроніки, мікромеханіки, нанотехнологій вимагає вдосконалення методів вимірювання лінійних розмірів елементів топології мікросхем, аналізу поверхневих структур, а також вимагає засобів вимірювань, які підтверджують достовірність результатів вимірювань розмірів реальних об'єктів і їх елементного складу. Вимірювання лінійних розмірів в мікронних і субмікронних діапазонах методом растрової електронної мікроскопії на сьогоднішній день вважаються одними з найбільш точних. Слід зазначити, що провідні країни світу, що займають ключові позиції в мікроелектроніці, питань впровадження метрології в практику лінійних вимірювань в мікро-і нанометровом діапазонах приділяють першорядне значення.
Ключові слова: нанометрологія, растровий електронний мікроскоп, міри, калібрування, еталон