1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 4(102)'2012
  5. Система аналізу дефектів вирощування напівпровідникових кристалів

Система аналізу дефектів вирощування напівпровідникових кристалів

Л. І. Д'яченко, Є. В. Мінов, С. Е. Остапов, І. Й. Наконечний, В. І. Буркут, О. В. Копач, П. М. Фочук
Системи обробки інформації. — 2012. — № 4(102). — С. 16-19.
УДК 004.942; 548.4
Мова статті: українська
Анотації на мовах:

Розроблено програмне забезпечення для розпізнавання фотографій дефектної підсистеми, які створюються під час сканування реальних напівпровідникових кристалів в ІЧ-променях. Наведено структурну схему та опис установки, яка використовується для отримання знімків, а також описано алгоритм розпізнавання ІЧ фотографій. Наводяться способи перевірки правильності розпізнавання та запропоновано новий метод тестування коректності роботи існуючих програмних комплексів для моделювання структури та параметрів підсистеми дефектів вирощування напівпровідникових кристалів.
Ключові слова: програмний комплекс, алгоритм розпізнавання, дефекти вирощування, ІЧ знімки, тестування, статистична обробка інформації, напівпровідникові кристали
Бібліографічний опис для цитування:
Д'яченко Л. І. Система аналізу дефектів вирощування напівпровідникових кристалів / Л. І. Д'яченко, Є. В. Мінов, С. Е. Остапов, І. Й. Наконечний, В. І. Буркут, О. В. Копач, П. М. Фочук  // Системи обробки інформації. — 2012. — № 4. — С. 16-19.