1. Наука
  2. Видання
  3. Системи обробки інформації
  4. 4(102)'2012
  5. Система анализа дефектов выращивания полупроводниковых кристаллов

Система анализа дефектов выращивания полупроводниковых кристаллов

Л.И. Дьяченко, Е.В. Минов, С.Э. Остапов, І.Й. Наконечний, В.І. Буркут, О.В. Копач, П.М. Фочук
Аннотации на языках:

Разработано программное обеспечение для распознавания фотографий дефектной подсистемы, которые получают сканированием реальных полупроводниковых кристаллов в ИК лучах. Приведена структурная схема и описание установки, которая используется для получения снимков, а также описан алгоритм распознавания. Приводятся способы проверки корректности распознавания и предложено новый метод тестирования правильности работы существующих программных комплексов для моделирования структуры и параметров дефектной подсистемы полупроводниковых кристаллов.
Ключевые слова: программный комплекс, алгоритм распознавания, дефект выращивания, ИК снимки, тестирование, статистическая обработка информации, полупроводниковые кристаллы